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地址:山东省淄博市清河工业园



三氟化氮
名称/化学式:NF3
包装规格:10L//47L/440L
纯度(%):>99.99%
订购热线:0533-8170450
产品指标

山东飞源科技有限公司具备年产1000吨NF3的生产能力,生产工艺及设备均处于国内领先地位,且以生产5N规格的产品为主。

项目 Items 

单位 Unit 

企业标准 Company Standard 

NF3 

Vol.% 

99.996

99.99

CF4 

Vol. ppm 

20.0

40.0

N2 

Vol. ppm 

5.0

5.0

O2+Ar 

Vol. ppm 

3.0

3.0

CO 

Vol. ppm 

0.5

1.0

CO2 

Vol. ppm 

0.5

1.0

N2O 

Vol. ppm 

1.0

1.0

SF6 

Vol. ppm 

1.0

1.0

H2O 

Vol. ppm 

1.0

1.0

Express as HF 

Vol. ppm 

1.0

1.0

产品特性
  三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟 离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗 剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
电子级三氟化氮气体是近年发展起来的一种新型电子化学品,主要用于电子元件的等离子蚀刻及清洗。三氟化氮用于硅和氮化硅蚀刻时,具有更高的蚀刻速率和选择性,且在被蚀刻物表面不残留任何物质。

储存及运输

NF3(三氟化氮)

47L Cylinder47L钢瓶

440L Y Cylinder440L Y瓶

Bundle(集装格)

ISO Tube(槽车)

Standard(型号)

DOT-3AA

DOT-3AA

47L*16/47L*25个

20ft/40ft

Valve type(阀门类型)

CGA 640

CGA 640 etc

 

 

Pressure(钢瓶压力)

2175PSI

16.6Mpa

 

 

Filling Weight充装量

20/22.7 KGS

195/200 KGS

 

 

  

  三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。

  三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。
  三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理

  如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。
  泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。

应用领域
    三氟化氮的三个主要用途,一是用作高能化学激光气的氟源,二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂,三是应用于太阳能光电产业。NF3其它用途:生产全氟铵盐,用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度,在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。